摘要：為了減小太赫茲器件中頻端口石英微帶-同軸轉(zhuǎn)換的插入損耗,提高信號(hào)傳輸效率,優(yōu)化設(shè)計(jì)了金絲鍵合和絕緣子包金帶兩種微帶-同軸互聯(lián)方式。結(jié)合熱超聲鍵合工藝,對(duì)兩種互聯(lián)方式進(jìn)行探討。通過實(shí)物加工測(cè)試,得到兩種互聯(lián)方式的插入損耗,其中絕緣子包金帶在0~33 GHz帶寬內(nèi)插入損耗小于0.33 dB,金絲鍵合在0~20 GHz帶寬內(nèi)插入損耗小于0.7 dB。可知絕緣子包金帶互聯(lián)方式能更加有效提高中頻信號(hào)傳輸效率,可應(yīng)用在混頻器和倍頻器等太赫茲器件的設(shè)計(jì)中。