摘要：為研究超精密加工設(shè)備隔振基礎(chǔ)的隔振效果,以某超精密加工設(shè)備為研究對(duì)象,設(shè)計(jì)了隔振系統(tǒng),分析了系統(tǒng)在環(huán)境微振動(dòng)下的振動(dòng)響應(yīng),發(fā)現(xiàn)在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通過(guò)調(diào)整隔振基礎(chǔ)厚度和隔振彈簧剛度,分析了加工設(shè)備對(duì)外界環(huán)境微振動(dòng)的響應(yīng)變化情況。