摘要：針對玻璃基板拋磨工藝中的人工上料(貼片)和下料(卸片)過程,提出一套玻璃基板自動上下料裝置及工藝,重點研究其中用機械臂實現(xiàn)玻璃基板的自動脫附過程。建立了機械臂的運動學模型,根據(jù)工藝要求規(guī)劃其運動軌跡。對工藝過程中絕對位置精度要求較高的點,采用接觸力反饋的方式實現(xiàn)精確定位;針對玻璃脫附過程對操作力提出的要求,對機械臂采用力控制的方式實現(xiàn)。為節(jié)省末端的力傳感器,建立了機械臂的動力學模型,把對末端執(zhí)行器的力的要求轉(zhuǎn)換為對關節(jié)驅(qū)動電機的扭矩要求,再通過實驗的方法對計算出的理論扭矩進行補償修正,從而滿足工藝過程對機械臂末端執(zhí)行器在水平和垂直兩個方向上的力控制的要求。方法均通過實驗驗證可實現(xiàn)玻璃基板的自動脫附,系統(tǒng)工作過程穩(wěn)定可靠。